日本日酸TANAKA高壓壓力調節(jié)器半導體減壓閥 TANAKA日酸 TORR-2300-4W-B515-4VF4VF 特點介紹

●TORR系列是憑借長期的業(yè)績獲得高度信賴的“半導體氣體用壓力調整器的代名詞"的壓力調整器。

●組裝全部在0.3μm級1000的潔凈室進行。

●在一次室的流路內置過濾器，減少了內部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測試在內的全部出貨檢驗。

●還可制作電解研磨規(guī)格品。（接觸氣體金屬部表面粗糙度Ra0.25μm）

●TORR-2300系列作為一次高壓用中流量機型，用于流量要求比TORR-1300更高的一次減壓設備和蒸汽壓高的液化氣體的一次減壓設備。

日本日酸TANAKA高壓壓力調節(jié)器半導體減壓閥 TANAKA日酸 TORR-2300-4W-B515-4VF4VF 規(guī)格參數(shù)

●性能入口側最高使用壓:出口側最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內置過濾器過濾過度:出入口口徑:外部泄漏量:20MPa1.0M Pa1，

400L/min（或）（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2氣體）-5～40°C1.8kg（4端口）20μm1/4"1.3×10-9Pa m3/sec以下（螺紋連接）1.3x 10-10Pa m3/sec以下（焊接連接）